上海陛通半導體能源科技股份有限公司-關于我們-研發中心

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研發中心



  上海陛通半導體能源科技股份有限公司研發中心由多位在半導體設備研制和工藝研發領域有多年經驗的資深研發人員組成。主要任務是對公司現有產品、工藝進行改進和升級,并根據集成電路制造行業的新技術、新工藝、新材料進行工藝和設備研發和設計新的真空反應腔和核心部件產品。研發中心根據公司發展規劃、市場需求和用戶的潛在需求,提出新課題和研發方向,例如,碳化硅材料、氮化鎵材料、人造金剛石薄膜材料等特殊工藝設備。通過幾年的不懈努力,陛通研發中心獲得了十幾項國家發明專利、實用新型專利和軟件著作權,具備了強大的自主創新和新產品開發的能力。

  陛通研發中心根據全球市場變化,著眼于半導體集成電路制造行業先進設備和工藝制程發展的前沿科技,努力打造自己的核心產品。目前,研發中心的產品主要涉及200mm和300mm晶圓的CVD, PVD及Etch設備領域。

  陛通公司研發中心人員將為客戶提供優質、穩定的產品和技術服務。

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